微小氣體質(zhì)量流量計SCMFM

采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

微小氣體質(zhì)量流量計SCMFM 技術(shù)參數(shù)：

2.1  測量介質(zhì)：各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min

DN6   60-600ml/min

DN8   80-800ml/min

DN10  100-1000ml/min

注：

a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。

c) 每個口徑量程范圍均可擴大

d)特殊需要可單獨標定

2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

的工作原理：

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難"的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃)，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為x，速度為v，a為擴散率。

如上圖(式)所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。